設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
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含錫前驅(qū)體 |
≤60 |
sccm |
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含氟前驅(qū)體 |
≤20 |
sccm |
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H2O |
≤60 |
sccm |
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功率 |
7.5 |
kW |
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